1. 真空度達不到要求（最常見故障）

表現：真空表顯示壓力始終高于目標值（如雙級泵無法達到 10?3Pa），或抽真空后壓力快速回升（保壓效果差）。

核心成因：

密封失效：泵腔與轉子、旋片間的密封間隙過大（長期磨損導致），或進氣口密封圈、排氣閥片老化（橡膠變硬、開裂），外界空氣倒灌。

潤滑油問題：真空泵油不足（油位低于刻度線）、油質變質（油色發黑、渾濁，失去密封和潤滑作用），或錯用機油、齒輪油（黏度不符，無法形成有效油膜）。

氣路泄漏：進氣管道、閥門接口松動或破損，導致空氣從外部滲入待抽系統，影響真空度。

危害：無法滿足生產或實驗的真空需求（如鍍膜時膜層附著力差、干燥不徹底）。

2. 抽氣速率明顯下降

表現：達到相同真空度的時間顯著延長（如原本 10 分鐘抽至目標值，現在需 30 分鐘），或真空表指針上升緩慢。

核心成因：

進氣堵塞：進氣口濾網被灰塵、雜質堵塞（尤其抽除含粉塵氣體時），或進氣管道內有異物（如密封膠帶殘留），阻礙氣體進入泵腔。

旋片卡滯或磨損：旋片因泵腔內雜質過多（如金屬碎屑）卡滯在轉子槽內，無法緊貼泵腔內壁；或旋片磨損嚴重（邊緣變鈍），無法有效分隔泵腔，導致氣體回流。

排氣不暢：排氣閥片粘連（油垢堆積導致無法正常開啟），或排氣管道堵塞，壓縮后的氣體無法順利排出，影響后續吸氣循環。

3. 泵體異常發熱（溫度超過 60℃）

表現：泵體外殼燙手（正常工作溫度應≤50℃），或真空泵油因高溫出現冒煙、異味（油分解）。

核心成因：

潤滑不足：真空泵油不足或油質劣化，轉子、旋片與泵腔間摩擦加劇，產生大量熱量。

過載運行：長時間抽除大量可凝性氣體（如水蒸氣、溶劑蒸氣）且未開啟氣鎮閥，氣體在泵腔內凝結成液體，與油混合后增加摩擦阻力，同時壓縮過程放熱增多。

冷卻失效：風扇損壞（強制風冷型泵）、水冷管道堵塞（水冷型泵），或工作環境通風差（如高溫車間、狹小空間），熱量無法及時散出。