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正確維護(hù)可延長真空泵壽命,避免故障導(dǎo)致生產(chǎn)中斷,核心維護(hù)措施如下: 油式真空泵(如旋片泵、滑閥泵): 定期檢查泵油液位(需在油標(biāo)刻度范圍內(nèi)),油色變渾濁、發(fā)黑時(shí)需及時(shí)更換(通常每 300~500 小時(shí)更換 1 次,惡劣環(huán)境下縮短周期); 嚴(yán)禁混用不同型號(hào)的泵油,避免油質(zhì)劣化影響密封與潤滑; 長期停用前,需空載運(yùn)行 10~15 分鐘,排出泵內(nèi)殘留氣體,再關(guān)閉進(jìn)氣口和電源。 無油真空泵(如渦旋泵、干式螺桿泵): 定期清潔進(jìn)氣口過濾器(每 100~200 小時(shí)清理 1 次,避免堵塞影響抽速); 檢查密封件(如 O 型圈)是否老化,若出現(xiàn)漏氣需及時(shí)更換; 避免抽入大量粉塵或液態(tài)物質(zhì),防止內(nèi)部部件磨損或卡死。 高真空設(shè)備(如分子泵、離子泵): 分子泵啟動(dòng)前需確認(rèn)前級(jí)泵已達(dá)到規(guī)定真空度(通常 < 1Pa),避免高速旋轉(zhuǎn)的葉片因氣體過多導(dǎo)致過熱損壞; 離子泵需定期檢查真空度是否穩(wěn)定,若真空度突然下降,可能是電極吸附飽和,需進(jìn)行 “再生處理”(按設(shè)備說明書操作); 避免頻繁啟停,每次啟停間隔至少 30 分鐘,保護(hù)電機(jī)與軸承。 通用維護(hù): 每日開機(jī)前檢查電源、接線是否正常,有無松動(dòng); 運(yùn)行中觀察噪音、振動(dòng)、溫度(機(jī)身溫度通常不超過 80℃,若過熱需停機(jī)檢查); 長期停用(超過 1 個(gè)月)時(shí),需覆蓋防塵罩,定期空載運(yùn)行 1 次(10~15 分鐘),防止部件生銹。
