正確維護(hù)可延長真空泵壽命，避免故障導(dǎo)致生產(chǎn)中斷，核心維護(hù)措施如下： 油式真空泵（如旋片泵、滑閥泵）： 定期檢查泵油液位（需在油標(biāo)刻度范圍內(nèi)），油色變渾濁、發(fā)黑時(shí)需及時(shí)更換（通常每 300~500 小時(shí)更換 1 次，惡劣環(huán)境下縮短周期）； 嚴(yán)禁混用不同型號(hào)的泵油，避免油質(zhì)劣化影響密封與潤滑； 長期停用前，需空載運(yùn)行 10~15 分鐘，排出泵內(nèi)殘留氣體，再關(guān)閉進(jìn)氣口和電源。 無油真空泵（如渦旋泵、干式螺桿泵）： 定期清潔進(jìn)氣口過濾器（每 100~200 小時(shí)清理 1 次，避免堵塞影響抽速）； 檢查密封件（如 O 型圈）是否老化，若出現(xiàn)漏氣需及時(shí)更換； 避免抽入大量粉塵或液態(tài)物質(zhì)，防止內(nèi)部部件磨損或卡死。 高真空設(shè)備（如分子泵、離子泵）： 分子泵啟動(dòng)前需確認(rèn)前級(jí)泵已達(dá)到規(guī)定真空度（通常 < 1Pa），避免高速旋轉(zhuǎn)的葉片因氣體過多導(dǎo)致過熱損壞； 離子泵需定期檢查真空度是否穩(wěn)定，若真空度突然下降，可能是電極吸附飽和，需進(jìn)行 “再生處理”（按設(shè)備說明書操作）； 避免頻繁啟停，每次啟停間隔至少 30 分鐘，保護(hù)電機(jī)與軸承。 通用維護(hù)： 每日開機(jī)前檢查電源、接線是否正常，有無松動(dòng)； 運(yùn)行中觀察噪音、振動(dòng)、溫度（機(jī)身溫度通常不超過 80℃，若過熱需停機(jī)檢查）； 長期停用（超過 1 個(gè)月）時(shí)，需覆蓋防塵罩，定期空載運(yùn)行 1 次（10~15 分鐘），防止部件生銹。